电子显微镜，使用电子束而不是光束来照亮研究对象的高分辨率的显微镜。
冶金学：电子显微镜
在使用高能电子的细聚焦束检查金属方面已经取得了很大的进步。电子显微镜小号
历史
许多物理学家在20世纪第一季度的基础研究表明，可以以某种方式使用阴极射线（即电子）来提高显微镜的分辨率。1924年，法国物理学家路易斯·德布罗意（Louis de Broglie）开辟了道路，并提出了将电子束视为波动形式的建议。De Broglie推导了它们的波长公式，该公式表明，例如，对于加速60,000伏（或60千伏[k]）的电子，有效波长为0.05埃（即），即绿色的1 / 100,000。光。如果可以在显微镜中使用此类波，则分辨率会大大提高。1926年证明，磁场或静电场可用作电子或其他带电粒子的透镜。这一发现开始了对电子光学的研究，并于1931年由德国电气工程师Max Knoll和Ernst Ruska设计了一个两透镜电子显微镜，该显微镜可以产生电子源的图像。1933年，建立了一个原始的电子显微镜，对标本而非电子源进行成像； 1935年，诺尔（Knoll）产生了固体表面的扫描图像。光学显微镜的分辨率很快就超过了。
德国物理学家曼弗雷德（Manfred），弗赖尔（男爵）·冯·阿登（Fon Ardenne）和英国电子工程师查尔斯·奥特利（Charles Oatley）奠定了透射电子显微镜（电子束穿过样本的过程）和扫描电子显微镜（其中电子束从其他样品中射出）的基础。电子，然后进行分析），最著名的记录在Ardenne的《Elektronen-Übermikroskopie》（1940年）一书中。在第二次世界大战期间，电子显微镜的进一步开发工作被推迟，但在1946年发明了柱头仪，从而推动了物镜的发展。
透射电子显微镜（TEM）可以对厚度不超过1微米的样本进行成像。高压电子显微镜类似于TEM，但在更高的电压下工作。扫描电子显微镜（SEM）用于在固体物体的表面上扫描电子束，以建立表面结构细节的图像。与SEM不同，环境扫描电子显微镜（ESEM）可以在大气中生成标本的扫描图像，并且适合研究潮湿标本，包括一些生物。
技术的结合产生了扫描透射电子显微镜（STEM），该技术结合了TEM和SEM的方法，以及电子探针显微分析仪或微探针分析仪，该分析仪可以使用以下方法对材料的成分进行化学分析：入射的电子束通过样品中的化学元素激发特征X射线的发射。这些X射线由仪器内置的光谱仪检测和分析。显微探针分析仪能够产生电子扫描图像，因此可以轻松地关联其结构和组成。
电子显微镜的另一种类型是场发射显微镜，其中使用强电场从安装在阴极射线管中的导线吸取电子。
